采用机械臂输送方式，清洗节拍可调； 引进国外最新的防腐材料，实行全面防腐措施； 大屏幕TFT人机界面操作，便捷高速工艺参数； 先进的硅片清洗、干燥工艺、彻底去除表面颗粒污染物和碳元素聚集物，洁净度高，不留水痕。
产量：1800片（156*156）/小时
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