采用机械臂输送方式，清洗节拍可调；
  引进国外最新的防腐材料，实行全面防腐措施；
  大屏幕TFT人机界面操作，便捷高速工艺参数；
  先进的硅片清洗、干燥工艺、彻底去除表面颗粒污染物和碳元素聚集物，洁净度高，不留水痕。